Keramische Vakuumdurchführungen.

QSIL Ceramics fertigt nach Kundenanforderungen keramische Vakuum-Durchführungen.

Geringste Ausgasungs- und Leckraten, Hochspannungsfestigkeit ≥30 kV/mm, bestmögliche thermische Isolation und thermische Beständigkeit garantieren höchste Zuverlässigkeit der Bauteile. Die Keramik Metalldurchführungen sind auf ihre Vakuumdichtigkeit geprüft. Die He Leckrate beträgt ≤10-9 mbar·l/s.


Vorteile auf einen Blick

  • kundenspezifische, zeichnungsgebundene Bauteile
  • Einfach- und Mehrfachdurchführungen nach Kundenwunsch
  • enge Maßtoleranzen
  • mit dissipativer hochohmiger Beschichtung möglich
  • Vakuumdichtigkeit ≤10-9 mbar l/s
  • Keramikoberfläche außen glasiert möglich
  • Mit angeschweißten standardisierten Metallflanschen möglich


Einsatzgebiete

  • Analysegeräte
  • Röntgengeräte
  • Halbleiterindustrie
  • Excimerlaser


Dieses Produkt ist in folgenden Materialien verfügbar

  • Aluminiumoxid AK 97 M
  • Aluminiumoxid AK 97
  • Aluminiumoxid AK 99.5

Jeweils mit Metallkomponenten aus FeNi29Co18-Legierung, in Abhängigkeit von Geometrie und Abmessung auch T, Cu-OF, FeNi42 oder Ni möglich.

Dieses Produkt ist in folgenden Materialien verfügbar:

Aluminiumoxid AK 97 M, Aluminiumoxid AK 97, Aluminiumoxid AK 99.5
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