Unser Beitrag zur Halbleiterrevolution.

Quarzglas, Keramik und Refraktärmetalle sind in der Halbleiterindustrie von ausschlaggebender Wichtigkeit, um die anspruchsvollen Anforderungen an Reinheit, Präzision und Leistung zu erfüllen. Sie ermöglichen die Herstellung von Halbleitern mit immer kleineren Strukturen und höheren Leistungen, die in modernen Technologien unerlässlich sind.

Quarzglas in der Halbleiterindustrie

Aufgrund seiner einzigartigen Kombination spezifischer Eigenschaften ist Quarzglas ein unersetzlicher Werkstoff in der Hableiterproduktion. In folgenden Bereichen wird es eingesetzt:

• Wafer-Substrate: Quarzglas verwendet man zur Herstellung von Silizium-Wafern, auf denen Halbleiterbauelemente erzeugt werden. Es bietet eine hohe thermische Stabilität und geringe Ausdehnung, was für präzise Lithographieprozesse wichtig ist.
• Prozessbehälter: Quarzglasbehälter werden in der Halbleiterherstellung genutzt, da sie chemisch inert sind und extreme Temperaturen und aggressive Chemikalien aushalten.
• Optische Masken: Quarzglas wird zur Herstellung von optischen Masken und Fotomasken verwendet, die in der Lithographie für die Mustererstellung benötigt werden.
• Besondere Vorteile: Die hohe thermische Stabilität von Quarzglas ermöglicht präzise Verarbeitung bei extremen Temperaturen. Geringe Ausdehnung minimiert Spannungen und gewährleistet strukturelle Integrität. Chemische Beständigkeit bewahrt Integrität in aggressiven Umgebungen. Hohe UV-Transparenz ermöglicht exakte Photolithographie.

Keramik in der Halbleiterindustrie

• Substrate für Leiterplatten: Technische Keramik findet Verwendung als Substrate für Hochfrequenzschaltkreise und Leiterplatten aufgrund ihrer elektrischen Isolationseigenschaften und geringen Dielektrizitätskonstanten.
• Dichtungen und Isolatoren: In Halbleiterausrüstungen isoliert und dichtet technische Keramik aggressive Chemikalien und Gase ab und bewahrt somit die Reinheit der Prozesse.
• Träger für Beschichtungen: Technische Keramik dient als Träger für Schichten und Metallisierung in Halbleiterbauelementen, wodurch die Performance verbessert wird.
• Besondere Vorteile: Elektrische Isolation, chemische Beständigkeit, mechanische Festigkeit und eine geringe Dielektrizitätskonstante.

Refraktärmetalle in der Halbleiterindustrie

• Heizungen und Filamente: Refraktärmetalle wie Wolfram und Molybdän werden in Halbleiterherstellungsanlagen zur Erzeugung von Hochtemperaturprozessen eingesetzt, da sie bei extremen Temperaturen stabil bleiben.
• Elektroden: In der Halbleitertechnologie werden Refraktärmetalle für Elektroden und Kontakte verwendet, um elektrische Signale präzise zu steuern.
• Strukturkomponenten: Refraktärmetalle sind in kritischen strukturellen Bauteilen von Halbleitergeräten zu finden, die Hitze und mechanischer Belastung ausgesetzt sind.
• Besondere Vorteile: Hohe Schmelzpunkte sowie hohe Temperaturbeständigkeit, elektrische Leitfähigkeit und mechanische Stabilität.